① 다층 반응기 설계: 반응기 각도를 조정하고 균일 한 실리콘 증착을 달성하기 위해 가스 분포를 최적화합니다. ②국부적인 변화를 피하기위한 온도 조절: 국부적인 과열을 방지하기 위해 증착 중 온도를 정확하게 조절하여 불균일한 증착을 유발할 수 있습니다.

① 코팅 무결성 향상을위한 아세틸렌의 시너지 효과: 첫째, 증착을 통해 초기 코팅을 형성 한 다음 탄소 커버리지를 향상시키기 위해 아세틸렌 처리를 형성합니다. ② 코팅 공정 매개 변수의 최적화: 코팅 중 온도, 기간 및 대기 조건을 조정하여 실리콘 입자에 대한 탄소 전구체의 균일 한 분해 및 증착을 보장합니다. 조밀하고 안정한 탄소 층 형성; ③ 탄소 전구체의 전처리 및 순도 조절: 탄소 전구체의 물리적 활성화를 수행하여 반응성 및 계면 결합을 향상시키고, 불순물이 탄소 코팅 품질에 악영향을 미치는 것을 방지하기 위해 전구체 입자 크기 및 순도를 제어합니다.

① 증착 불균일을 극복하기위한 유동층 기술: 탄소 매트릭스를 유동화 된 입자 층에 놓습니다. 흐르는 가스는 액체와 같은 상태를 생성하여 입자가 실란 가스에 균일하게 노출되고 균일 한 나노 실리콘 증착을 달성합니다. ② 지능형 배치 시스템: 성분 비율을 자동으로 조정하여 배치 대 배치 변동성과 고르지 않은 혼합을 제거합니다.

① 수집 시스템의 최적화: 수집 중 재료 보유 및 손실을 최소화하십시오. ② 반응 조건의 최적화: 가스 흐름 및 반응 시간을 정확하게 조절하여 탄소 원 활용도를 개선하고 잔류 원료를 줄입니다.

불활성 환경을 유지하기 위해 유동층 증착 공정 동안 불활성 가스를 지속적으로 공급한다. 동시에 실시간으로 산소 수준을 모니터링하십시오. 비정상적인 변동이 발생하면 적시에 경고 및 조정을 유발하여 안정적이고 제어 가능한 증착 프로세스를 보장합니다.