CMP 연마 액체 연마 산화 세륨 아연 산화 실리콘 질화물 실리콘 카바이드 산화 세륨 산화 아연 실리콘 질화물 실리콘 카바이드 효율적인 교반 및 분산 장치는 연마 입자들의 응집 및 침전을 방지하기 위해 연마 입자들을 연마 액체 베이스에 고르게 분산시킨다.